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2015
17th International Congress of Metrology
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| Article Number | 13004 | |
| Number of page(s) | 6 | |
| Section | Tendance en métrologie 3D / Trends in coordinate measurement | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/metrology/20150013004 | |
| Published online | 21 September 2015 | |
Traceable profile and roughness measurements inside micro sonic nozzles with the Profilscanner
1 Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Bundesallee 100, D-38116 Braunschweig, Germany
2 Leibniz Universität Hannover, Appelstraße 9, D-30167 Hannover, Germany
a Corresponding author: min.xu@ptb.de
Résumé
Le Profilscanner développé par le PTB permet de réaliser des mesures de rugosité et de de forme sur des structures d'un diamètre minimum de 40 µm présentant un rapport d'aspect élevé. Il a été possible pour la première de caractériser avec succès les surfaces internes de petites buses soniques d'un diamètre de l'ordre du micromètre. La comparaison entre ces mesures topographiques et des expériences correspondantes concernant le débit massique a confirmé l'hypothèse selon laquelle la topographie des surfaces internes a une forte influence sur le débit massique des microbuses.
© Owned by the authors, published by EDP Sciences, 2015
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