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Article cité :

Model-aided hybrid metrology for surface roughness measurement fusing AFM and SEM data

Vassilios Constantoudis, George Boulousis, Kosmas Ellinas, Evangelos Gogolides

Publié en ligne : 2015-09-21

DOI: https://doi.org/10.1051/metrology/20150014005

Citations de cet article :

Accuracy and reproducibility of ambient topographies at the nanoscale by AFM: Several months of metrological monitoring

Ziad Gharibeh, Maxime Leménager, Hind Bousbia, Rosine Coq Germanicus and J. Lopez
EPJ Web of Conferences 323 13001 (2025)
https://doi.org/10.1051/epjconf/202532313001