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Article cité :

Traceable profile and roughness measurements inside micro sonic nozzles with the Profilscanner

Min Xu, Felix Kauth, Bodo Mickan, Uwe Brand

Publié en ligne : 2015-09-21

DOI: https://doi.org/10.1051/metrology/20150013004

Citations de cet article :

Using a Tip Characterizer to Investigate Microprobe Silicon Tip Geometry Variation in Roughness Measurements

Min Xu, Ziqi Zhou, Thomas Ahbe, Erwin Peiner and Uwe Brand
Sensors 22 (3) 1298 (2022)
https://doi.org/10.3390/s22031298

Customized piezoresistive microprobes for combined imaging of topography and mechanical properties

Michael Fahrbach, Sebastian Friedrich, Heinrich Behle, Min Xu, Brunero Cappella, Uwe Brand and Erwin Peiner
Measurement: Sensors 100042 (2021)
https://doi.org/10.1016/j.measen.2021.100042